PENNING GAUGE – PEG100

Vorteile
  • Großer Messbereich von 5 x 10-9 bis 1 x 10-2 mbar (7,5 x 10 -10 bis 7,5 x 10 -2 Torr
  • Ganzmetallsensor mit Kaltkathode (Penning) und Keramikdurchführung
  • Neue Elektrodengeometrie sorgt für exzellente Zündeigenschaften
  • Verminderte Hochspannung nach der Plasmazündung sowie Titankathodenplatten verringern das Verunreinigungsrisiko, selbst während Kathodenzerstäubungsvorgängen mit Argon
  • Der Anodenring und die Titankathode können leicht gereinigt und ausgewechselt werden
  • Minimale Magnetfeldintensität in der Nähe des Messgeräts
  • LED- Anzeige für Stromversorgung und Plasmezündung
  • Logarithmisches analoges Ausgangssignal
  • Feldbusschnittstelle (Profibus DB, DeviceNet) für die einfache Integration in Vakuumsysteme mit Netzwerkkommunikation
Anwendungen
  • Hochvakuum-Drucküberwachung
  • Verdampfungs- und Kathodenzerstäubungssysteme
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Fein- und Hochvakuumbereich

PENNING GAUGE – PEG100

Die INFICON Penning Gauge PEG100 ermöglicht zuverlässige Hochvakuummessungen. Der robuste Penning-Kahlkathodensensor enthält kein Filament, das ausbrennen könnte. Aufgrund der Titankathodenplatten und der reduzierten Hochspannung nach der Plasmazündung kann das Messgerät auch in Zerstäubungsanwendungen eingesetzt werden. Die Feldbusoption ermöglichen zusammen mit dem logarithmischen analogen Ausgangssignal eine einfache Integration in Vakuumsysteme mithilfe von Profibus DP- oder DeviceNet-Protokollen.

– Gerne senden wir Ihnen für das ausgewählte Produkt ein ausführliches technisches Datenblatt zu, fragen sie uns danach!