Vakuum-Messtechnik

 

SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – CDG025D / CDG025D-S

Vorteile
  • Vollskalabereich von 100mTorr bis 1.000 Torr
  • Schnelle Stabilität nach dem Einschalten
  • Schnelle Wiederherstellung von Atmosphärendruck
  • Korrosionsbeständiger Keramiksensor
  • Exzellente langfristige Signalstabilität
  • Temperaturkompensiert
  • Sensorschutz vor Verunreinigung
  • Nullfunktion per Knopfdruck
  • Vielfältige Stromversorgungsmöglichkeiten
  • 2 Sollwerte (optional)
  • RS232-Schnittstelle (optional)
Anwendungen
  • Geräte zur Halbleiterherstellung für Ätzen, CVD, PVD und ALD
  • Geräte zur Herstellung von Datenspeichern und Bildschirmen
  • Ausrüstung für industrielle Vakuumverfahren
  • Generelle Druckmessung mit hoher Präzision
 

SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – CDG025D-X3

Vorteile
  • Vollskalabereich von 100mTorr bis 1.000 Torr
  • Schnelle Stabilität nach dem Einschalten
  • Schnelle Wiederherstellung von Atmosphärendruck
  • Korrosionsbeständiger Keramiksensor
  • Exzellente langfristige Signalstabilität
  • Temperaturkompensiert
  • Sensorschutz vor Verunreinigung
  • Nullfunktion per Knopfdruck
  • Vielfältige Stromversorgungsmöglichkeiten
  • 2 Sollwerte (optional)
  • RS232-Schnittstelle (optional)
  • Reinraum konform
Anwendungen
  • Geräte zur Halbleiterherstellung für Ätzen, CVD, PVD und ALD
  • Geräte zur Herstellung von Datenspeichern und Bildschirmen
  • Ausrüstung für industrielle Vakuumverfahren
  • Generelle Druckmessung mit hoher Präzision
 

SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – CDG045D

Vorteile
  • Niedrigere Betriebskosten, 50% schnellere Aufheizung, energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
  • Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
  • Diagnoseanschluss für schnellere Wartungsarbeiten
  • Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgeräteschutz
  • Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
  • Prüfzeichen und Standards: CE, EN, UL, SEMI,RoHS
Anwendungen
  • Ätz-, CVD-,PVD-, und andere Halbleiterfertigungsprozesse
  • Chemische und korrosive Prozesse
  • Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse
  • Referenzsensor zur Überwachung von Testinstrumenten gemäß internationaler Standards
  • Transferstandard für Nachweisbarkeitsmessungen
 

SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – CDG100D

Vorteile
  • Niedrigere Betriebskosten, 50% schnellere Aufheizung, energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
  • Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
  • Diagnoseanschluss für schnellere Wartungsarbeiten
  • Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgeräteschutz
  • Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
  • Prüfzeichen und Standards: CE, EN, UL, SEMI,RoHS
Anwendungen
  • Ätz-, CVD-,PVD-, und andere Halbleiterfertigungsprozesse
  • Chemische und korrosive Prozesse
  • Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse
 

SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – CDG160D / CDG200D

Vorteile
  • Niedrigere Betriebskosten, 50% schnellere Aufheizung, energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
  • Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
  • Diagnoseanschluss für schnellere Wartungsarbeiten
  • Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgeräteschutz
  • Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
  • Prüfzeichen und Standards: CE, EN, UL, SEMI,RoHS
Anwendungen
  • Ätz-, CVD-,PVD-, und andere Halbleiterfertigungsprozesse
  • Chemische und korrosive Prozesse
  • Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die Messgeräteschutz erfordern
 

SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – AllCeramic™ CDG025-C

Vorteile
  • Keine metallischen Verunreinigungen
  • Geringe Nullpunktabweichung
  • Fast vollständig korrosionsbeständing - lange Sensorlebensdauer für weniger Ausfallzeiten und geringere Betriebskosten
  • Herausragende Genauigkeit und Wiederholbarkeit über eine lange Betriebsdauer
  • Längere Lebensdauer und höhere Temperaturstabilität
  • Kein Isolationsventil erforderlich ( je nach Betriebsmodus)
  • Weniger anfällig gegen Partikel und Prozessnebenprodukte durch Suprashield
  • Kürzeste Aufheizdauer
  • Niedrigere Investitionkosten
  • Direkter Ersatz vorhandener CDGs dank Schnittenstellenkompabilität
Anwendungen
  • Ätz-, CVD- und PVD-Prozesse
  • Dotierung von Silizium durch Implantations- oder Diffusionsprozesse
  • Oxidation
  • Erzeugung einer Gateoxidschicht im Bereich von 100nm
  • Erzeugung von Sperrschichten (Ti, TiN, Ta und TaN) als Schutzschicht zwischen Silizium und Aluminium oder Kupfer
 

SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – AllCeramic™ CDG160A-C / CDG160A-CS

Vorteile
  • Der metallfreie ultrareine Keramikentwurf verhindert Metallverunreinigung
  • Die auf 160°C geregelte Temperatur verhindert die Kondensation von Prozessprodukten und -nebenprodukten
  • Der kompakte Entwurf spart wertvollen Platz und vereinfacht die Geräteintegration
  • Kompatibilität mit hoher Umgebungstemperatur
  • Eine verbesserte Partikelschutzkammer mit einem zusätzlichen Schutzschild (Suprashield) reduziert die Wahrscheinlichkeit einer Verunreinigung des Messgeräts
  • Der einzigartige Keramiksensorentwurf sorgt für Wiederholbarkeit und präzise Messungen mit exzellenter langfristiger Stabilität
  • Optionale Sollwert- und Statusanzeige bietet zusätzliche Kontrolle und Sicherheitsfunktionen
Anwendungen
  • Prozesse mit Oxidation, Diffusion und chemischer Niederdruckgasphasenabscheidung
  • Andere metallfreie Vakuummessanforderungen
 

BAYARD-ALPERT PIRANI GAUGE – BPG400

Vorteile
  • Extrem großer Messbereich von 5x10 -10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8x10 -10 Torr bis Atmosphärendruck)
  • Exzellente Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10 -8... 10 -2 mbar von 5%
  • Die Pirani-Verriegelung schützt das Bayard-Alpert-System vor vorzeitigem Ausbrennen des Filaments und übermäßiger Verunreinigung durch Hochdruckbetrieb
  • Langlebiges Ytriumoxid- beschichtetes Iridiumfilament
  • Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
  • Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
Anwendungen
  • Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich
 

BAYARD-ALPERT PIRANI GAUGE- BPG402-S

Vorteile
  • Extrem großer Messbereich von 5x10 -10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8x10 -10 Torr bis Atmosphärendruck)
  • Exzellente Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10 -8... 10 -2 mbar von 5%
  • Pirani-Verriegelung schützt das Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
  • Duales langlebiges Ytriumoxid- beschichtetes Iridiumfilament
  • Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
  • Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
  • Leicht auszuwechselndes Abtastelement mit Onboard-Kalibrierungsdaten garantiert hohe Reproduzierbarkeit
Anwendungen
  • Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich
 

HIGH PRESSURE HOT IONIZATION GAUGE – HPG400

Vorteile
  • Das HPG400 spart Kosten und Stellfläche und vereinfacht die Installation und Einrichtung des Vakuumsystems
  • Die Hochdruck-Heißionisierungsmessröhre liefert präzise, verlässliche Druckmessungen von 10 -5... 1 mbar für verbesserte Prozessteuerung
  • Vom Benutzer auswählbare Aktivierung heißer Ionenemission zwischen 5x 10 -2 und 1 mbar
  • Pirani-Verriegelung schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
  • Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
  • Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
Anwendungen
  • Zerstäubungsanwendungen in der Halbleiterherstellung, Elektronik- und Medienindustrie
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im niedrigen bis hohen Vakuumbereich
 

BAYARD-ALPERT PIRANI CAPACITANCE DIAPHGRAPM GAUGE – TripleGauge®BCG450

Vorteile
  • Die BCG450 spart Kosten und Stellfläche und reduziert die Komplexität von Installation und Einrichtung der Vakuummessung
  • Eine vom Gastyp unabhängige Druckmessung über 10Torr bietet eine zuverlässigere Schleusensteuerung bei beliebigen Gasmischungen
  • Pirani-Verriegelung schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
  • Durch die automatische Pirani-Justierung bei Hochvakuum und Atmosphärendruck sind weniger Eingriffe durch den Betreiber erforderlich
  • Die Differenzdruckmessung bei Normaldruck beseitigt Unbestimmtheiten hinsichtlich der Änderung des atmosphärischen Drucks
  • Das leicht auswechselbare Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten sorgt für garantierte Reproduzierbarkeit
  • Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
Anwendungen
  • Druckmessung in Halbleiterprozessen,Transfer- und Schleusenkammern
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung bei Systemen vom Grob- bis zum Ultrahochvakuumbereich
 

PIRANI STANDARD GAUGE – PSG500/-S/PSG502-S/PSG510-5/PSG512-S

Vorteile
  • Einfache Anpassung von ATM und HV über Drucktasten
  • Platzsparendes, robustes Design
  • Alumiumgehäuse
  • Montage in beliebiger Position
  • Messzelle aus Edelstahl mit metallversiegelter Durchführung
  • Logarithmischer Signalausgang für einfache Integration
  • 10 bar absoluter Überdruck mit Gewindeanschlüssen
  • 250°C ausheizbare Version
  • Optionale Ausführung mit Nickelfilament für korrosive Anwendungen
  • Keramische Durchführungen für extrem korrosive Anwendungen (PSG510 und PSG512)
  • Optionale Sollwerte
  • RoHS-konform
Anwendungen
  • Steuern von Hochvakuum-Ionisierungsmessröhren
  • Vorvakuum-Drucküberwachung
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Fein- und Grobvakuumbereich
 

PIRANI STANDARD GAUGE – PSG550 / PSG552 / PSG554

Vorteile
  • Mit Wolfram-(PSG550) oder Nickelfilament(PSG552) oder mit vollständig keramikbeschichteter Sensoreinheit(PSG554) für hochkorrosive Anwendungen erhältlich
  • Optionale Anzeige, Sollwerte und Digitalschnittstellen erhältlich
  • Leicht auswechselbares Plug & Play- Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten, sorgt für hohe Reproduzierbarkeit und niedrige Betriebskosten
  • Geeignetes Ausgangssignal und verschiedene Stecker-Varianten für eine einfache Integration
  • Gestaltungsfreiheit beim Werkzeugdesign durch vielseitige Montagemöglichkeiten
  • Diagnoseanschluss bei allen Versionen
Anwendungen
  • Vorvakuum-Druckmessung
  • Sicherheitsstromkreise in Vakuumsystemen
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung vom niedrigen bis hohen Vakuumbereich
 

PIRANI CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – PCG550 / PCG552 / PCG554

Vorteile
  • Unabhängig vom Gastyp über 10mbar - sichere Lüftung mit beliebigen Gasmischungen
  • Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit bei Normaldruck für die zuverlässige Erkennung atmosphärischer Drücke
  • Schnelle Erkennung des Atmosphärendrucks verkürzt Wartezeiten und die Dauer des Prozesszyklus
  • Gestaltungsfreiheit beim Werkzeugdesign durch vielseitige Montagemöglichkeiten
  • Mit Wolfram (PCG550)- oder Nickelfilament(PCG552) oder mit vollständig keramikbeschichteter(PCG554) Sensoreinheit für hochkorrosive Anwendungen erhältlich
  • Leichtauswechselbares Plug & Play- Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten sorgt für hohe Reproduzierbarkeit und niedrige Betriebskosten
  • Geeignetes Ausgangssignal für einfache Integration
  • Optionaler atmosphärischer Schalter, Anzeige und Digitalschnittstellen erhältlich
  • Diagnoseanschluss bei allen Versionen
Anwendungen
  • Überwachung des Vorvakuumdruckes
  • Sicherheits-Schaltungen in Vakuumsystemen
  • Allgemeine Vakuum-Mess- und Regeltechnik auch für das Grobvakuum
 

PENNING GAUGE – PEG100

Vorteile
  • Großer Messbereich von 5 x 10-9 bis 1 x 10-2 mbar (7,5 x 10 -10 bis 7,5 x 10 -2 Torr
  • Ganzmetallsensor mit Kaltkathode (Penning) und Keramikdurchführung
  • Neue Elektrodengeometrie sorgt für exzellente Zündeigenschaften
  • Verminderte Hochspannung nach der Plasmazündung sowie Titankathodenplatten verringern das Verunreinigungsrisiko, selbst während Kathodenzerstäubungsvorgängen mit Argon
  • Der Anodenring und die Titankathode können leicht gereinigt und ausgewechselt werden
  • Minimale Magnetfeldintensität in der Nähe des Messgeräts
  • LED- Anzeige für Stromversorgung und Plasmezündung
  • Logarithmisches analoges Ausgangssignal
  • Feldbusschnittstelle (Profibus DB, DeviceNet) für die einfache Integration in Vakuumsysteme mit Netzwerkkommunikation
Anwendungen
  • Hochvakuum-Drucküberwachung
  • Verdampfungs- und Kathodenzerstäubungssysteme
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Fein- und Hochvakuumbereich
 

INVERTED MAGNETRON PIRANI GAUGE – MPG400 / 401

Vorteile
  • Kombinationsmessgerät- invertiertes Magnetron und Pirani
  • Großer Messbereich von 5 x 10 -9 mbar bis Atmosphärendruck
  • Kein Filament, das ausbrennen könnte
  • Leicht zu Reinigen
  • FPM- oder metallversiegelte Durchführung
  • LED-Anzeige für anliegende Hochspannung
  • Logarithmisches analoges Ausgangssignal
Anwendungen
  • Hochvakuum-Drucküberwachung
  • Basisdruck für Verdampfungs- und Zerstäubungssysteme
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Mittel- und Hochvakuumbereich