SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – AllCeramic™ CDG160A-C / CDG160A-CS

Vorteile
  • Der metallfreie ultrareine Keramikentwurf verhindert Metallverunreinigung
  • Die auf 160°C geregelte Temperatur verhindert die Kondensation von Prozessprodukten und -nebenprodukten
  • Der kompakte Entwurf spart wertvollen Platz und vereinfacht die Geräteintegration
  • Kompatibilität mit hoher Umgebungstemperatur
  • Eine verbesserte Partikelschutzkammer mit einem zusätzlichen Schutzschild (Suprashield) reduziert die Wahrscheinlichkeit einer Verunreinigung des Messgeräts
  • Der einzigartige Keramiksensorentwurf sorgt für Wiederholbarkeit und präzise Messungen mit exzellenter langfristiger Stabilität
  • Optionale Sollwert- und Statusanzeige bietet zusätzliche Kontrolle und Sicherheitsfunktionen
Anwendungen
  • Prozesse mit Oxidation, Diffusion und chemischer Niederdruckgasphasenabscheidung
  • Andere metallfreie Vakuummessanforderungen

SKY® CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE – AllCeramic™ CDG160A-C / CDG160A-CS

Der INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C ist der einzige vollständige metallfreie bei 160°C temperaturgesteuerte Kapazitätsmembranmanometer für anspruchsvolle Anwendungen wie Oxidation, Diffusion und chemische Niederdruckgasphasenabscheidung. Alle Oberflächen, die dem Vakuum ausgesetzt sind, wie Leitungen, Plasmaschild und Kontaminationsschutzschild, bestehen aus korrosionsbeständiger ultrareiner Aluminiumoxid-Keramik. Somit ist eine mögliche Metallverunreinigung durch das Messgerät ausgeschlossen.

Der INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C integriert bewährte Sensortechnologie der INFICON CDG160A-Baureihe von Messgeräten für zuverlässige und wiederholbare Leistung bei chemischer Niederdruckgasphasenabscheidung und anderen schwierigen Anwendungen in der Halbleiterherstellung.

– Gerne senden wir Ihnen für das ausgewählte Produkt ein ausführliches technisches Datenblatt zu, fragen sie uns danach!